Implantacija jona · ion implantation
- materijali
Definicija: Mijenja dopiranje poluprovodnika i površinska svojstva metala. Dubina i profil kontrolišu se energijom i dozom.
- Polje: materijali
- SI jedinica: ions·m⁻²
- ID: I0026
Implantacija bora stvara p-područja u Si-ju.
Boron implantation creates p-type regions in Si.