Naprašivanje (sputtering) · sputtering
- thin films
Definicija: Koristi se za taloženje tankih filmova i čišćenje; parametri plazme i energija jona određuju brzinu i sastav filma.
- Polje: thin films
- Aliasi: raspršivanje
- Varijante: raspršivanje
- ID: S2065
Magnetronsko naprašivanje taloži TiN prevlake.
Magnetron sputtering deposits TiN coatings.